質量標準:
分子式：CF₄                                   分子量：88     

性狀：
四氟化碳為永久氣體，在常溫常壓下為無色無臭的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩(wěn)定的無毒物質。
用途：
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用於電子器件表面清洗，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。
貯存：
陰涼通風、遠離熱源、倉溫不宜超過30℃，空瓶、滿瓶應分開存放。
運輸：
四氟化碳的運輸應符合《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》的相關規(guī)定。
包裝:
應充裝在經特殊處理的潔淨、乾燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其它容器。