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產品展示
分子式：SF6
分子量：146.05
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項目 |
國標 |
企業標準 |
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六氟化硫(VSF6) /10 -2≥ |
99.99 |
99.999 |
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空氣(VA)/10 -6≤ |
50.0 |
5.0 |
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四氟化碳（VCF4）/10 -6≤ |
15.0 |
2.0 |
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濕度（VH2O）/10 -6≤ |
8.0 |
8.0 |
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酸度（以HF計）（VHF）/10 -6≤ |
1.0 |
1.0 |
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可水解氟化物（以HF計）（VHF）/10 -6≤ |
1.0 |
1.0 |
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其他雜質（CO2、C2F6、C3F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）的體積分數/10 -6≤ |
15.0 |
10.0 |
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雜質綜合V綜/10 -6≤ |
100 |
40 |
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顆粒 |
由供需雙方商定 |
由供需雙方商定 |
性狀：
常溫常壓下為液態，它是一種無色、無臭、無毒、無腐蝕性的氣體。熔點-50℃，昇華點或沸點為-63.8℃，氣體密度6.16g/L(20℃，0.1MPa)，在熔點時密度為2.51g/cm3，具有高的絕緣性和滅弧能力。
用途：
六氟化硫﹙SF6﹚是一優良的惰性絕緣氣體，電子工業用六氟化硫氣體大量用於在電子器件表面清洗、在TFT行業中應用量大。
貯存：
應存放於陰涼乾燥、通風良好的地方。
運輸：
長途運輸時應附有GB19-73《危險貨物包裝標誌》中指定標誌。氣瓶充裝係數不大於1.33kg/L。
包裝：
SF6應充裝在潔淨、乾燥的無縫高壓氣瓶中，氣瓶容積一般為40L、12.5L、10L、8L、4L等，也可以根據用戶需要選用各種容積的氣瓶或其他容器。 （一般情況下，使用氣瓶公稱壓力為15Mpa時，充裝係數＜1.37ka/L。﹚