項目

國家基準GB/T18867-2014

六氟化硫(SF6)含量（體積分數(shù)）/10-2  
六フッ化硫黃（SF6）の含有量（
體積點數(shù)）/10-2 ≥

99.999

（氧+氬）（酸素+アルゴン）（體積點數(shù)）/10-6        ≤

2.0

氮　窒素（體積點數(shù)）/10-6        ≤

2.0

四氟化碳　　四フッ化炭素體積點數(shù)）/10-6        ≤

1.0

一氧化碳　一酸化炭素體積點數(shù)）/10-6        ≤

0.5

二氧化碳　二酸化炭素體積點數(shù)）/10-6        ≤

0.5

甲烷 メタン體積點數(shù)）/10-6        ≤

0.5

水分(H2O)的　
水分（H2O）の體積點數(shù)）/10-6        ≤

3.0

酸度（以HF計）的　
酸度（HFで計上）の質量點數(shù)/10-6

0.1

可水解氟化物（以HF計）的質量分數(shù)/10-6
可加水分解フッ化物（HFで計上）の質量點數(shù)/10-6

0.8

雜質綜合的　不純物のある総合的なもの體積點數(shù)）/10-6        ≤

10

顆粒

需給雙方が協(xié)議して定める