項目

指標

氟（F2）含量（體積分數）      
フッ素（F2）の含有量（體積點數）%

（5—20）

氮氣       窒素（體積點數）%

（95—80）

氧　酸素（體積點數）%

≤0.08

四氟化碳　四フッ化炭素（體積點數）%

≤0.03

氟化氫    フッ化水素（體積點數）%

≤0.50